半導體自主設備研發

漢民科技深耕半導體技術與服務，歷經逾45年的淬鍊，長期投入自主研發半導體設備，已陸續展現成果，為台灣的自主設備研發奠定基礎。

從電子束、離子束，到中子束的設備研發，從物理、化學基礎研究，延伸到設備發展，並引進國際技術團隊，移轉深耕台灣。

除了半導體製程檢測用的電子束設備開花結果外，漢辰科技製造的低能量高電流離子植入機 (Ion Implanter)，已和半導體最大先進製程客戶共同推進，生產三奈米製程設備，並投入二奈米的製程設備研發，成為台灣半導體前段製程關鍵設備的領導廠商。