半導體設備組裝與零件製造的專業服務者
積極滿足客戶多樣化需求，以生產時程與品質控制快速進入產品量產階段
新竹
新竹科學園區
- 廣源廠：6,400 m2
產品 : SiC、矽晶產品加工(CEL, Focus Ring)
- 新竹總部：994 m2
產品：MOCVD
- 新竹湖口：2048 m2
產品：Si-Ingot
台南
地點
南部科學園區
生產基地
Fab 1：3,900 m2
Fab 2：4,900 m2
產品
單一模組組裝、整機系統安裝、製程功能驗證
合肥
地點
合肥空港經濟示範區
生產基地
API：2,600 m2
HHT：1,674 m2
產品
API：矽晶產品加工 (CEL, Focus Ring)
HHT：半導體設備組裝與製造、關鍵零組件開發與製造、二手設備翻新與維修
瀋陽
地點
瀋陽經濟技術開發區
生產基地
張士工廠：24,530 m2
中德園工廠：56,300 m2
產品
SiC 船/管、石英製品生產、設備維修服務 (Process tube、 Boat、 Pedestal base、 Injectors)
