碳化矽(SiC)是寬能隙功率半導體的明日之星,也被視為戰略性物資,但基板材料的晶體成長技術難度極高,過往多掌握在美日廠商手中。漢民以多年時間研製SiC長晶爐設備,啟動SiC基板製造業務,在台灣竹南廣源設廠並投入量產,提供包括SiC長晶、定位加工、切割、研磨與基板製造等關鍵材料的完整產製服務。
漢民自主研發半導體設備,包含金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD)、ICP電漿蝕刻機(ICP Etcher)以及電子束蒸鍍設備(E-beam Evaporator)等,可因應化合物半導體製程等需求。
漢民測試(HTSI)累積豐厚的技術能量,提供高階探針卡(Probe Card)、自動光學檢測(Automated Optical Inspection)等客製化服務,為客戶與通訊、能源、HPC與AI領域的應用產品,提供完善的支援服務。