提供客製化解決方案
漢民科技 ATOM 系列全自動塗佈/顯影機 (Coater/Developer) 適用於各尺寸晶圓製程。設備主要由盒站、對準、傳送、勻膠、熱處理、化學品供應、排液系統及控制模組組成，藉由圖形化操作介面。在 LED、Micro-LED與半導體後段製程等具有高度市場占有率，經過多年研發及改良，ATOM 系列在2021年跨入寬能隙 (化合物) 半導體市場。
全機由漢民自行開發設計，配置自製機械手臂，具有速度快、容易維修的優勢，並提供高產能與均勻性，搭配自動化系統進行遠端生產管理及 SEMI S2/S10 認證，提供各產業客戶多元且客製化的解決方案。
