提供客制化解决方案
汉民科技 ATOM 系列全自动涂布/显影机 (Coater/Developer) 适用于各尺寸晶圆制程。设备主要由盒站、对准、传送、匀胶、热处理、化学品供应、排液系统及控制模块组成，藉由图形化操作接口。在 LED、Micro-LED与半导体后段制程等具有高度市场占有率，经过多年研发及改良，ATOM 系列在2021年跨入宽能隙 (化合物) 半导体市场。
全机由汉民自行开发设计，配置自制机械手臂，具有速度快、容易维修的优势，并提供高产能与均匀性，搭配自动化系统进行远程生产管理及 SEMI S2/S10 认证，提供各产业客户多元且客制化的解决方案。
