电子束蒸镀设备是在高真空的腔体中，使用电子束 (E-beam) 照射的方式加热材料至材料蒸发，让材料附着于晶圆的表面形成薄膜镀层。
电子束蒸镀设备
E-beam Evaporator
多样的组件搭配提供选择
弹性化的系统配置
简易的图形化操作接口
支持泛用的设备标准通讯
可设置多重操作人员权限
多功能的数据纪录
支持多层架构的制程参数
業務聯絡
Taiwan
China
电子束蒸镀设备是在高真空的腔体中，使用电子束 (E-beam) 照射的方式加热材料至材料蒸发，让材料附着于晶圆的表面形成薄膜镀层。
