汉民科技研发之无助焊剂植球回焊检测补球一体机,具备简化的植球工艺流程,无需助焊剂及相应的模板,并省去了清洗助焊剂所需设备及相应的化工原料,提供客户低成本且环保的解决方案,适用于CoWos、WLCSP及Fan-Out等晶圆先进封装的制程需求。

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高效能的植球及回焊检测设备,专为12吋晶圆制程设计,提供无助焊剂、无污染的干净制程,并具备100%锡球回收能力,有效降低生产成本;配备高速检测与自动修补模块,满足自动化产线中高精度、高效率、高良率兼具的制程需求。
专为C4、CuPillar及MicroPillar等应用打造的高精度回焊设备,适用于6吋、8吋、12吋的制程需求,具备多样化的温度曲线、均匀温控和实时温度监控功能,提供低热预算(Low thermal budget) 的制程方案 。